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西安電子科技大學(xué)王逸飛:基于氧化鎵材料性能調(diào)控及高性能日盲紫外光電探測器的研究

發(fā)表于:2023-08-03 來源:半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)網(wǎng) 編輯:

?近日,“2023功率與光電半導(dǎo)體器件設(shè)計及集成應(yīng)用論壇”于西安召開。論壇由第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟(CASA)指導(dǎo),西安交通大學(xué)、極智半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)網(wǎng)(www.casmita.com)、第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)主辦,西安電子科技大學(xué)、中國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所、第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟人才發(fā)展委員會、全國半導(dǎo)體應(yīng)用產(chǎn)教融合(東莞)職業(yè)教育集團(tuán)聯(lián)合組織、西安和其光電股份有限公司等單位協(xié)辦。

王逸飛

期間,“平行論壇2:光電子器件及應(yīng)用”上,西安電子科技大學(xué)微電子學(xué)院博士研究生王逸飛帶來“基于氧化鎵材料性能調(diào)控及高性能日盲紫外光電探測器的研究”的主題報告,超寬禁帶半導(dǎo)體氧化鎵因其高擊穿場強、穩(wěn)定性好和具有天然的日盲帶隙等特點近年來受到廣泛關(guān)注,然而在實際應(yīng)用中仍面臨一些問題,例如有效的p型氧化鎵半導(dǎo)體獲得以及基于氧化鎵的日盲紫外光電探測器對紫外光的響應(yīng)不足。

報告分享了氧化鎵材料性能調(diào)控和氧化鎵日盲探測器方面的研究進(jìn)展。報告指出,缺電子元素與N元素共摻雜方法將受主能級位置有效降低,實現(xiàn)了p型氧化鎵;過渡金屬摻雜調(diào)控氧化鎵,揭示過渡金屬元素?fù)诫s氧化鎵形成能和引入缺陷能級規(guī)律的同時,還首次發(fā)現(xiàn)IBIIB族金屬將會引入AX中心,是阻礙p型氧化鎵的獲得的新原因;低維氧化鎵材料的性質(zhì),包括電學(xué)性質(zhì)、光學(xué)性質(zhì)、力學(xué)性質(zhì)和熱學(xué)性質(zhì)等,并對其進(jìn)行單軸應(yīng)變、外加電場以及雜質(zhì)原子鈍化等方法調(diào)控,為未來高性能低維氧化鎵基器件的制備提供理論指導(dǎo);首次提出采用有機聚合物調(diào)控氧化鎵光電探測器,其響應(yīng)度增加36 %,提升了對日盲紫外光的響應(yīng)特性;探究不同In組分摻雜的影響,實現(xiàn)高遷移率(μsat= 3.63 cm2/V·s)、低亞閾值擺幅(SS= 1.38 V/decade)的氧化鎵薄膜晶體管,進(jìn)一步獲得對日盲紫外光高響應(yīng)特性的光電探測器;構(gòu)建In2O3/IGO異質(zhì)結(jié)晶體管,獲得更高載流子遷移率(μsat= 10.22 cm2/V·s)的異質(zhì)結(jié)晶體管,為未來光電探測應(yīng)用提供器件基礎(chǔ);氧化鎵與不同二維材料體系的界面特性,豐富氧化鎵界面理論的同時為制備高性能氧化鎵/二維材料基光電探測器提供理論指導(dǎo)。

CASICON 系列活動簡介

?“先進(jìn)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)大會(CASICON)”由【極智半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)網(wǎng)】主辦,每年在全國巡回舉辦的行業(yè)綜合活動。活動聚焦先進(jìn)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展熱點,聚合產(chǎn)業(yè)相關(guān)各方訴求,通過“主題會議+項目路演+展覽”的形式,促進(jìn)參與各方交流合作,積極推動產(chǎn)業(yè)發(fā)展。CASICON 系列活動將以助力第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)為己任,聯(lián)合實力資源,持續(xù)輸出高質(zhì)量的活動內(nèi)容,搭建更好的交流平臺,為產(chǎn)業(yè)發(fā)展貢獻(xiàn)應(yīng)盡的力量。

(備注:以上信息僅根據(jù)現(xiàn)場整理未經(jīng)嘉賓本人確認(rèn),僅供參考!)

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