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廣州華瑞升陽申請寬禁帶半導體器件專利,降低寬禁帶半導體器件導通損耗和柵介質層擊穿風險

發表于:2024-12-26 來源:半導體產業網 編輯:

 國家知識產權局信息顯示,廣州華瑞升陽投資有限公司申請一項名為“寬禁帶半導體器件”的專利,公開號 CN 119170634 A,申請日期為2024年8月。

專利摘要顯示,本發明公開了一種寬禁帶半導體功率器件,包括至少一個元胞結構,元胞結構包括:襯底;寬禁帶半導體層,設于襯底之上;若干源極溝槽和柵極溝槽,均平行分布于寬禁帶半導體層,且兩者間隔設置;源區,設于源、柵極溝槽之間的寬禁帶半導體層中;第一源電極,設于源極溝槽內,在源極溝槽側壁與寬禁帶半導體層形成肖特基接觸;柵電極,設于柵極溝槽內;柵介質層,包圍柵電極;第二源電極,設于第一源電極之上,并與源區形成歐姆接觸;電場調整區,設于至少一個第一源電極下方,用于調整源極溝槽間電場線分布;漏電極,設于襯底下面;其中,源極溝槽在垂直方向上的延伸長度超過柵極溝槽。本發明能降低寬禁帶半導體器件導通損耗和柵介質層擊穿風險。

 

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